：円（１時間）
2)精度再現性：100倍にて1μm以内
3)ステージ：X軸25mm,Y軸25mm,Z軸10mm
(JPG：18.37KB)
| 施設所在地 | 津市 |
|---|---|
| 区分 | 本所 |
| 管理番号 | 00080 |
| 基本料金：円 | 370 |
| 使用料金 ：円（１時間） |
200 |
| 機器設備名 | ミクロン深さ高さ測定機 |
| 規格 | 日商精密光学 KY-90-TV |
| 用途 | 微小部品の非接触段差測定 |
| 仕様 | 1)測定範囲：7-2000μm 2)精度再現性：100倍にて1μm以内 3)ステージ：X軸25mm,Y軸25mm,Z軸10mm |
| 制限事項 | |
| 説明動画 | |
| 担当部署名 | 電子機械研究課 |
| 担当者 | 森・森本 |
| 電話番号 | 059-234-0405 |
| 副担当者 | 中村（創）・西村 |
| 電話番号 | 059-234-0406 |
| 設置部屋名 | |
| 機器画像 | (JPG：18.37KB) |
| 状態 | 開放中 |
| 操作 |